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用于投射光刻系统的光瞳分面反射镜、光学系统和照明光学系统.pdf

简介：在包括具有不可接近的入瞳的变形成像投射光学系统(7)的投射光刻系统(1)中,通过传输光学系统(15)对光瞳分面反射镜(14)和/或其光瞳分面(14a)和/或其成像动作进行各种适配可以是有利的。
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