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扫描干涉光刻系统.pdf

简介：本发明属于光学仪器仪表设备技术领域,提供了一种扫描干涉光刻系统,包括外差光路、第一干涉光路、第二干涉光路、运动台和控制子系统；运动台,所述运动台上承载基底,以位移测量干涉仪测量运动台的位移,第一束光和第二束光在基底上聚焦干涉曝光； 详细>
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