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EUV投射光刻的照明系统.pdf

简介：本发明涉及一种EUV投射光刻的照明系统,包含：光束成形光学单元(6),用于从基于同步加速器辐射的光源(2)的EUV原始光束(4)产生EUV聚集输出光束(7)。解耦光学单元(8)用于从所述EUV聚集输出光束(7)产生多个EUV单独输出光束(9-(i))。光束引导光学 详细>
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