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用于光刻过程的优化的方法.pdf

简介：一种用于改善光刻过程的成品率的方法,所述方法包括：确定整个衬底的性能参数的参数指纹,所述参数指纹包括与所述性能参数的不确定性相关的信息；确定整个所述衬底的性能参数的过程窗口指纹,过程窗口与所述性能参数的可允许范围相关联；以及确定与所述性能参数在可允许范围之外的概率相关联的概率度量。可选地,基于所述概率度量来确定对所述光刻过程的校正。
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