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量测方法和设备、计算机程序和光刻系统.pdf

简介：公开了一种重建在衬底上通过光刻过程形成的结构的特性的方法,以及相关的量测设备。该方法包括将与光刻过程相关的第一参数的测量值组合以获得第一参数的估计值；以及使用第一参数的估计值和结构的测量值重建与结构的特性相关的至少第二参数。组合步骤可以包括对第一参数的变化建模以获得第一参数的参数模型或指纹。
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