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测量结构的方法、检查设备、光刻系统、器件制造方法和其中使用的波长选择滤光器.pdf

简介：散射计执行目标结构的一个或更多个参数的基于衍射的测量。为了平行进行双色测量,该结构与具有第一波长和第一角度分布的第一辐射(302)、具有第二波长和第二角度分布的第二辐射(304)同时被照射。收集路径(CP)包括分段的波长选择滤光器(21,310) 详细>
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