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用于EUV光刻的防护膜及其制造方法.pdf

简介：本发明公开了极紫外(EUV)光刻用防护膜及其制造方法,该防护膜的EUV曝光光线的透过率优异,且具有优异的机械强度。该防护膜包括支撑层图案；形成在所述支撑层图案上的埋入式氧化物层图案；以及由所述埋入式氧化物层图案支撑的防护膜层。该防护膜还可以包括用于增强防护膜层的机械强度的增强层,用于额外补充增强层的机械强度的辅助层以及用于使防护膜层散热的散热层。
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