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半导体功率器件的终端结构及其制造方法.pdf

简介：本发明公开了一种半导体功率器件的终端结构,包括：多个P型场限环；介质隔离条将P型场限环之间的N型半导体材料表面完全覆盖；SIPOS层覆盖在各P型场限环的表面上并延伸到介质隔离条表面上；在SIPOS层表面覆盖有介质保护层。SIPOS层和P型场限环直 详细>
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