简介:一种制造极紫外线反射构件的方法,其包括:提供基板;在所述基板上形成多层堆叠,所述多层堆叠包括多个反射层对,这些反射层对具有第一反射层与第二反射层以形成布拉格反射器;以及在所述多层堆叠上形成覆盖所述多层堆叠的覆盖层,所述覆盖层由氧化钛、氧化钌、氧化铌、钌钨、钌钼或者钌铌形成,并且所述覆盖层通过减少氧化与机械侵蚀来保护所述多层堆叠。
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上传人:dahua1981
- 上传日期:2023-04-26