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用于光刻工艺的护膜组件及掩模护膜系统的制造方法.pdf

简介：本公开提供制造护膜组件的方法,此方法包含在载板上方形成脱模层,在脱模层上方制造膜层,将护膜框架附着至膜层,在护膜框架附着至膜层之后,对脱模层实施脱模处理工艺将载板从膜层分开,形成护膜组件,护膜组件包含护膜框架和附着至护膜框架的膜层。
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