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含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶.pdf 下载
含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶.pdf
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简介:本发明提供了一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶。该感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构:
简介:本发明提供了一种含芴的感光性树脂、其制备方法及具有其的光固化组合物和光刻胶。该感光性树脂具有下述通式(I)所示的结构:
其中,R
1
为氢、C
1
~C
10
的直链和支链烷基、C
6
~C
20
的芳基和C
1
~C
10
的烷氧基组成中的组中的任意一种;m
1
、m
2
各自独立地为0、1~4中的任意一个整数,n
1
、n
2
各自独立地为0、1~3中的任意一个整数;R
2
为C
1
~C
10
的直链和支链烷基组成中的组中的任意一种;R
3
为C
1
~C
8
的直链和支链亚烷基组成中的组中的任意一种;R
4
为氢或甲基;A、B各自独立地代表取代基团,n为1~20中的任意一个整数。该树脂固化性和成膜性较好,与基板的密合性较高且形成的图案的直线性较高。
详细>
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