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衬底支座、用于在衬底支撑位置上加载衬底的方法、光刻设备和器件制造方法.pdf

简介：一种衬底支座(1),包括：配置用于支撑衬底(W)的衬底支撑位置(4),以及配置用于在衬底支撑位置上夹持衬底的真空夹持装置(7),其中真空夹持装置包括用于产生减压的至少一个减压源(8),连接至该至少一个减压源的至少一个真空区段(9),其中配置至少 详细>
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