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光刻设备和数据处理设备.pdf

简介：一种光刻设备使用光学投影系统将图案施加到衬底上。该光刻设备包括光学水平传感器(LS)和相关联的处理器以在施加所述图案之前获得衬底表面的高度图(h(x,y))。控制器在施加所述图案时控制投影系统的聚焦。处理器还被布置成使用关于在先前施加 详细>
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