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光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法.pdf

简介：本发明涉及光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法。该光刻装置具有被配置为分别在属于一个批次的多个基板上执行图案化的多个处理单元,以及控制器,该控制器被配置为基于指定该多个基板中的一个基板的特定信息来执行多个处理单元中的处理该多个基板中的该一个基板的一个处理单元的确定并控制该多个处理单元使得基于与批次对应的配方信息并行地使用多个处理单元分别在多个基板上执行图案化。
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