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压印光刻法的矩形基材和制备方法.pdf

简介：通过提供具有研磨的前后表面和四个侧面的起始矩形基材,和在恒压下将旋转抛光垫垂直地压靠于一个侧面,和使该旋转抛光垫和该基材平行于该侧面相对运动,由此抛光该基材的该侧面,从而制备矩形基材。在压印光刻法中,该矩形基材能够以高精度控制压缩和图案形状,并由此能将微细特征尺寸的复杂图案转印至接收体。
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