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半导体装置及其制造方法.pdf

简介:提供一种具有即便进行微型化也能够较容易地制造且能够抑制起因于微型化的电特性下降的结构半导体装置以及其制造方法。在氧化物半导体层的顶面上形成源电极层及漏电极层。氧化物半导体层的侧面与源电极层的侧面被设置于同一面上,并电连接于第一布线。此外,氧化物半导体层的侧面与漏电极层的侧面被设置于同一面上,并电连接于第二布线。
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