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极紫外线光刻掩模坯料制造系统及用于该制造系统的操作方法.pdf

简介：一种处理系统,该处理系统包括：真空腔室；多个处理系统,这些多个处理系统附接于真空腔室的周围；以及晶片传送系统,该晶片传送系统位于该真空腔室中,用于在多个处理系统之间移动晶片,而不从真空中离开。一种用于制造极紫外线坯料的物理气相沉积系统,该系统包含：靶材,该靶材包含钼、钼合金或上述两者的组合。
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