合集
标准
方法
手册
讲义
报价单
谱图库
色谱图
质谱图
光谱图
X-射线图
波谱图
显微图
更多
专利
样本
相关软件
用户通讯
招标文件
新冠肺炎
其他
标准查询
今日免费资料
论文索引
您还有
0
次抽奖机会
锤子
您现在的位置:
首页
>
资料中心
>
专利下载
>
极紫外线光刻掩模坯料制造系统及用于该制造系统的操作方法.pdf 下载
极紫外线光刻掩模坯料制造系统及用于该制造系统的操作方法.pdf
扫码解锁,免费下载文件
请使用
最新版本仪器信息网APP
扫码登录
步骤:
打开仪器信息网APP并登录 ——》点击APP首页右上角扫一扫 ——》APP端确认解锁 ——》PC端下载文件
免费注册
简介:一种处理系统,该处理系统包括:真空腔室;多个处理系统,这些多个处理系统附接于真空腔室的周围;以及晶片传送系统,该晶片传送系统位于该真空腔室中,用于在多个处理系统之间移动晶片,而不从真空中离开。一种用于制造极紫外线坯料的物理气相沉积系统,该系统包含:靶材,该靶材包含钼、钼合金或上述两者的组合。
所需积分:
50 分
所需积分:
50 分
0分
下载次数:0 次
获取积分:页面上方
资料大小: 891 KB
上传人:
dahua1981
上传日期:2023-04-23
收藏资料
(0)
评论
(
0
)
举报
扫码免费下载
200份精品资料,免费下载
千种礼品,积分兑换
相关阅读
谭久彬院士:强化仪器学科发展,支撑国家测量与仪器产业体系构建
新材料创新,科学家实现室温下超薄、透明柔性电路的大面积印刷!
热门资料
实验室信息管理系统(LIMS)的功能
《空气和废气监测分析方法》(第四版)
原子荧光问题解答
ICH人用药品注册技术要求国际协调会(ICH)
EN ISO 14389-2014 纺织品 PAE邻苯二甲酸酯
GBT 51198-2016 微组装生产线工艺设计规范.pdf
盐雾试验箱盐雾试验标准GB/T2423.17的试验方法
GBT 31190-2014 实验室废弃化学品收集技术规范.pdf
GB/T 1839-2008 钢产品镀锌层质量试验方法
理化检验人员培训教材-力学性能试验
最新资料
CNAS-CC180:2023《食品安全管理体系认证机构要求》.pdf
LYT 1278-2011 电工层压木板.pdf
液体颗粒计数器应用行业介绍
GBT 29555-2013 门的启闭力试验方法.pdf
医疗电气设备教材的开发和使用指南
在线分析仪系统 设计和安装指南
TCECS 628-2019 石材粘贴工程技术规程.pdf
GBT 90.2-2002 紧固件 标志与包装.pdf
TCERS 0005-2020 电力线路跨越电气化铁路施工防护技术规范.pdf
鸟类声纹监测系统与虫情监测系统应用于山西某景区
相关资料
光刻设备和生成掩模图案的方法以及该设备制造方法.pdf
用于光刻工艺的护膜组件及掩模护膜系统的制造方法.pdf
吸盘系统、使用该吸盘系统的光刻装置和器件制造方法.pdf
用于清洗通过立体光刻制造的物体的设备和增材制造系统.pdf
用于对准或重叠的标记结构,限定它的掩模图案及使用该掩模图案的光刻投影装置.pdf
用于极远紫外光刻的反射掩模和制作该反射掩模的方法.pdf
光刻装置,器件制造方法以及该方法制造的器件.pdf
极紫外线磁性对比光刻掩模及其制法.pdf
极紫外线覆盖层及其的制造与光刻方法.pdf
具吸收剂的平面化极紫外光刻基底及其制造系统.pdf
光刻设备,设备清洁方法,装置制造方法和由该方法制造的装置.pdf
最新方案
食品/农产品
环保
制药/生物制药
其他
更多解决方案>>
兽药中含量测试检测方案(液相色谱仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
API 和凝胶胶囊中重金属检测方案(微波消解仪)
应用领域:
相关评论
您的评论:
推荐
发表评论
还可以输入
500
字
品牌合作伙伴
上传资料
一键询价
下载该资料的还下载
一种用于光刻装置的套刻补偿系统及方法.pdf
下载 1 次
|
50 积分
|
740 kb
发明专利申请公开说明书CN201010291462.5二苯庚烷类化合物及其医药用途
下载 1 次
|
10 积分
|
845 kb
亚叶酸钙的专利资料
下载 18 次
|
10 积分
|
291 kb
半导体装置2007.06.01.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
6819 kb
SBT 10387-2004 畜禽肉水产品中呋喃唑酮的测定.pdf
下载 1 次
|
1 积分
|
715 kb
更多
>>
推荐会议
更多
>>
推荐课程
气相色谱-质谱联用技术
¥5980
个人版:质谱不神秘
¥5980
【自营】有机质谱谱图解析技巧
¥1999
热重分析技术与应用体系课
¥169
上传者上传的其他资料
GB/T 24067-20xx温室气体 产品碳足迹 量化要求和指南 (征求意见稿).pdf
《XRD仪器使用实操手册大全》-八大品牌尽收其中-仪器信息网整编(带书签)
《XRF仪实操手册》-汇集8大品牌仪器.pdf
《食用油检测方法实用手册》-1215页-解决食用油检测难题-仪器信息网整编.pdf
道路车辆 重型商用列车气压制动系统制动开始压力 转鼓试验台测量方法.pdf
电梯用钢丝绳.pdf
下载排行
本周
本月
全部
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
7
原子吸收中的干扰及其抑制
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
原子吸收中的干扰及其抑制
7
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
1
Q2XXX系列DSC产品介绍
2
研究论文集(理论篇)--论文六:用
3
微波催化有机化学反应机理研究
4
研究论文集(理论篇)--论文七:论
5
LC2000性能测试报告
6
Q系列TMA热机械分析仪 产品介绍
7
epMotion 5075如何出色地完成96
8
环境监测分析实验室的质量管理特
9
物理化学专业工具软件做物化实验
请输入验证码
请输入图中
蓝色的字
免积分下载
确认
输入错误!
仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的,版权归原属作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途,否则,一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益,请联系我们(download@instrument.com.cn)处理,感谢您的合作!
安装App资料免费下
资料微服务您的资料助手