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用于测量微结构的非对称性的方法和设备、位置测量方法、位置测量设备、光刻设备和器件制造方法.pdf

简介：本发明公开了一种光刻设备,包括对准传感器,所述对准传感器包括用于读取包括周期性结构的标记的位置的自参考干涉仪。照射光学系统将不同颜色和偏振的辐射聚焦在扫描所述结构的光斑(406)处。多个依赖于位置的信号I-A(G,R,N,F)、I-B(G,R,N,F)在 详细>
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