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非晶层极紫外线光刻坯料及用于制造该坯料的方法与光刻系统.pdf

简介：一种集成极紫外线坯料生产系统包括：用于将基板置放在真空中的真空腔室；沉积系统,所述沉积系统用于沉积多层堆叠物而不从真空移除基板；以及处理系统,所述处理系统用于处理多层堆叠物上的层,所述层待沉积为非晶金属层。一种用于制造极紫外线 详细>
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