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由石英玻璃制成的、用于在ArF准分子激光光刻中使用的光学部件以及用于制造该部件的方法.pdf 下载
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简介:本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件,所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中,所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x10
16
个分子/cm
3
至1.0x10
18
个分子/c
简介:本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件,所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中,所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x10
16
个分子/cm
3
至1.0x10
18
个分子/cm
3
的范围内的氢含量并且具有少于2x10
17
个分子/cm
3
的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量,其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测,提出光学部件的一种构型,其中,所述部件对利用波长为193nm、具有5x10
9
个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500μJ/cm
2
以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应,所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M
193nm
并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M
633nm
,其中适用:M
193nm
/M
633nm
<1.7。
详细>
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