简介:包括氧化物半导体层的晶体管可以具有稳定的电特性。另外,提供包括上述晶体管的高可靠性的半导体装置。半导体装置包括包含氧化物层和氧化物半导体层的多层膜、与多层膜接触的栅极绝缘膜及隔着栅极绝缘膜与多层膜重叠的栅电极。在半导体装置中,氧化物半导体层包含铟,氧化物半导体层与氧化物层接触,并且氧化物层包含铟且具有比氧化物半导体层大的能隙。
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上传人:dahua1981
- 上传日期:2023-04-23