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半导体器件边缘终端结构及方法.pdf

简介：在一个实施方案中,在具有第一导电类型的一半导体层内形成一个边缘终端结构。该终端结构包括一个隔离槽和一个和半导体层相接触的导电层。该半导体层是在具有第二导电类型的一片半导体基片上形成的。在一个进一步的实施方案中,该隔离槽包括多个形状,这些形状包含部分半导体层。
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