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具有改进的监测和控制的压印光刻术及其设备.pdf

简介：一种在压印光刻术处理过程中测量或监测至少一个参数的处理过程,包括如下步骤：提供具有用于压印测试图的表面的模具(方框A)；把测试图压印在可塑表面上(方框B)；照射测试图(方框C)；测量散射、反射、或透射的辐射中的分量,以监测压印的参数(方框D)；和可供选择地使用测量的辐射分量,控制处理过程的参数(方柜E)。
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