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光刻系统.pdf

简介：本发明涉及一种用于将图形转移到目标的表面上的无掩模光刻系统,包括产生多个小射束的至少一个束发生器、包括调制小射束的幅值的多个调制器的调制装置和控制每个调制器的控制单元,其中控制单元产生图形数据并将其传送给所说的调制装置以控 详细>
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