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一种包括传感器的组件,其制造方法及光刻投影设备.pdf

简介：本发明涉及一种包括传感器的组件,该传感器用于测定光刻投影设备(1)中基板(W；11)表面的倾斜度和高度其中至少一个。所述基板(W；11)可以沿基本平行于基板表面的至少一个路径相对传感器移动。所述光刻投影设备具有曝光扫描方向(y),该组件设置为 详细>
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