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光刻设备和器件制造方法.pdf

简介：一种在湿浸式光刻技术中使用的凸块板,其在周边部分的凸块密度比中间部分的凸块密度高,这样当在周边部分施加高压力差时,凸块的压缩基本上仍与中间部分的相同。
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