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光刻装置、洛伦兹致动器、及器件制作方法.pdf

简介：一种光刻装置,包括：照明系统；支持构图器件的支持结构；衬底支架；投影系统；致动器。致动器包括：第一磁铁系统部件和第二磁铁系统部件；导电元件,设置该导电元件使其基于该导电元件所流过的电流和所述第一磁场及第二磁场之间的相互作用而产生力 详细>
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