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使用软或压印光刻法制备隔离的微米－和纳米－结构的方法.pdf

简介：本公开主题描述了使用氟化的基于弹性体的材料,尤其是全氟聚醚(PFPE)系材料在高分辨的软或压印光刻应用,例如微米-和纳米级复制品模制中,及有机材料的第一纳米接触模制,使用弹性体模具产生高准确度特征的用途。相应地,公开主题描述了通过使用软或压印光刻,制备独立式的隔离的任何形状纳米结构的方法。
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