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纳米压印光刻胶.pdf

简介：本发明涉及一种电子元件的微结构化方法,其提供高分辨率(≤200纳米)和良好纵横比,但明显比照相平版印刷法更为经济。根据本发明的方法包括下列步骤：i)制备如权利要求1的纳米复合材料组合物的未固化的平面溶胶膜；ii)制备由底涂层b)和载体c)组 详细>
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