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光刻装置、照明系统以及碎屑捕集系统.pdf

简介：一种用于捕集通过光刻装置中的辐射源产生辐射时释放出的至少一部分碎屑颗粒的碎屑捕集系统,包括第一组通道和第二组通道。第一组中每一通道使来自辐射源的辐射能够经由所述通道传播,并且具有用于俘获碎屑颗粒的内壁。第二组通道相对于辐射传 详细>
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