简介:一种光学元件,该光学元件包括:对于波长λ在5-20nm范围内的EUV辐射来说至少部分地透射的层;以及包括具有rms粗糙度值的结构的顶层,其特征在于,顶层对于波长λ在5-20nm范围内的EUV辐射来说透射,并且对于等于或小于λ/2的空间间隔来说,顶层的结构是具有等于或大于λ/10的rms粗糙度值的结构。本发明还提供一种包括上述光学元件的光刻设备。
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上传人:dahua1981
- 上传日期:2023-04-21