合集 标准 方法 手册 讲义 报价单 谱图库 更多 标准查询 今日免费资料 论文索引
您现在的位置：首页 > 资料中心 > 专利下载 > 夹盘、光刻装置和器件制造方法.pdf 下载

夹盘、光刻装置和器件制造方法.pdf

简介：本发明公开了一种用于通过静电力将制品固定在支撑台上的夹盘,所述制品为：将在制造设备中采用光刻投影技术来加工的衬底；或光刻投影装置、掩膜处理装置、或者掩膜制造装置中的光刻投影掩膜或掩膜坯件。所述夹盘包括第一介质元件。在所述介质元件的朝向所述制品的一侧上设有多个引脚；所述引脚为导电引脚,其穿过所述介质元件的整个深度并与一导电元件相连,用于降低约翰逊拉别克力,并允许更快地释放衬底。
  • 所需积分：50 分
  • 下载次数：0 次
  • 获取积分：页面上方
  • 资料大小: 1061 KB
  • 上传人：dahua1981
  • 上传日期：2023-04-21
收藏资料 (0)
评论 (0)
举报
  • 资料微信群
  • 我的下载

热门资料

最新资料

相关资料

最新方案

相关评论

您的评论:推荐
发表评论
还可以输入500字

    品牌合作伙伴

    岛津
    日立科学仪器
    珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
    日本电子株式会社
    丹纳赫
    安捷伦
    赛默飞世尔科技
    普析通用
    欧波同
    天美
    天瑞仪器
    德国耶拿
    海能技术
    马尔文帕纳科
    磐诺科技
    上海仪电科仪
    梅特勒托利多
    聚光科技
    莱伯泰科
    盛瀚
    多宁生物
    丹东百特
    科哲
    卓立汉光
    屹尧科技
    华谱科仪
    宝德仪器
    优莱博
    HORIBA
    布鲁克核磁
    上传资料
    一键询价

    下载该资料的还下载

    更多>>推荐会议

    更多>>推荐课程

    上传者上传的其他资料

     下载排行

    本周
    本月
    全部
    仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的，版权归原属作者所有；不得将上述内容用于商业或者非法用途，否则，一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内，从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源，请支持正版，以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益，请联系我们（download@instrument.com.cn）处理，感谢您的合作！

    安装App资料免费下

    资料微服务您的资料助手