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光刻装置,设备制造方法和角编码器.pdf

简介：在光刻投影装置中,用于测量投影系统PL相对于参考系RF的位置的测量系统包括相对于用于测量衬底台座WT位置的测量系统中对应传感器而刚性安装的传感器。角编码器将来自靶41的光向下发送到对倾斜具有相反敏感性的两条光路中,用该角编码器测量投影系统PL围绕其光轴的旋转。
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