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激光照射设备和制造半导体器件的方法.pdf

简介：本发明的目的在于提供一种激光照射设备,其能够用具有均匀能量密度的激光束照射照射物体,而不使光学系统变复杂。本发明的激光照射设备,包括：激光振荡器；光学系统,用于在照射物体的表面之上在单轴方向上重复地扫描自激光振荡器发出的激光束的束斑；以及定位控制装置,用于在与单轴方向垂直的方向上相对于激光束移动照射物体的位置。
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