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光刻标记结构、包含该光刻标记结构的光刻投射装置和利用该光刻标记结构进行基片对准的方法.pdf

简介：在基底上用于所述基底光学对准的标记结构,所述标记结构包括多个第一结构元件和多个第二结构元件,在使用所述标记结构中,用于提供所述的光学对准,根据-设置直接照射在所述标记结构上的至少一个光束,-用传感器检测从所述标记结构上接收到的光线,-由所述被检测的光确定对准信息,所述对准信息包括与所述基底到所述传感器的位置相关的信息。
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