合集
标准
方法
手册
讲义
报价单
谱图库
色谱图
质谱图
光谱图
X-射线图
波谱图
显微图
更多
专利
样本
相关软件
用户通讯
招标文件
新冠肺炎
其他
标准查询
今日免费资料
论文索引
您还有
0
次抽奖机会
锤子
您现在的位置:
首页
>
资料中心
>
专利下载
>
光刻标记结构、包含该光刻标记结构的光刻投射装置和利用该光刻标记结构进行基片对准的方法.pdf 下载
光刻标记结构、包含该光刻标记结构的光刻投射装置和利用该光刻标记结构进行基片对准的方法.pdf
扫码解锁,免费下载文件
请使用
最新版本仪器信息网APP
扫码登录
步骤:
打开仪器信息网APP并登录 ——》点击APP首页右上角扫一扫 ——》APP端确认解锁 ——》PC端下载文件
免费注册
简介:在基底上用于所述基底光学对准的标记结构,所述标记结构包括多个第一结构元件和多个第二结构元件,在使用所述标记结构中,用于提供所述的光学对准,根据-设置直接照射在所述标记结构上的至少一个光束,-用传感器检测从所述标记结构上接收到的光线,-由所述被检测的光确定对准信息,所述对准信息包括与所述基底到所述传感器的位置相关的信息。
所需积分:
50 分
所需积分:
50 分
0分
下载次数:0 次
获取积分:页面上方
资料大小: 1728 KB
上传人:
dahua1981
上传日期:2023-04-21
收藏资料
(0)
评论
(
0
)
举报
扫码免费下载
200份精品资料,免费下载
千种礼品,积分兑换
相关阅读
谭久彬院士:强化仪器学科发展,支撑国家测量与仪器产业体系构建
新材料创新,科学家实现室温下超薄、透明柔性电路的大面积印刷!
热门资料
实验室信息管理系统(LIMS)的功能
《空气和废气监测分析方法》(第四版)
原子荧光问题解答
ICH人用药品注册技术要求国际协调会(ICH)
EN ISO 14389-2014 纺织品 PAE邻苯二甲酸酯
GBT 51198-2016 微组装生产线工艺设计规范.pdf
盐雾试验箱盐雾试验标准GB/T2423.17的试验方法
GBT 31190-2014 实验室废弃化学品收集技术规范.pdf
GB/T 1839-2008 钢产品镀锌层质量试验方法
理化检验人员培训教材-力学性能试验
最新资料
用单色波长色散X射线荧光光谱法测定汽油和相关产品中硅的标准试验方法
使用X射线荧光(XRF)对在用润滑剂进行耦合颗粒和元素分析的标准试验方法
用低温预浓缩和直接火焰电离检测法测定环境空气中非甲烷有机化合物(NMOC)的标准试验方法
金属覆盖层 金属基体上金镀层孔隙率的测定 硝酸蒸气法
蒸汽、气体、薄雾和固体颗粒空气输送排气系统标准
铝和铝合金的阳极氧化 阳极氧化膜的连续性检验 硫酸铜试验
HGT 20658-2014 熔盐炉技术规范.pdf
TCRIA 11003-2016 轮胎分级标准.pdf
CNAS-CC180:2023《食品安全管理体系认证机构要求》.pdf
LYT 1278-2011 电工层压木板.pdf
相关资料
用于对准或重叠的标记结构,限定它的掩模图案及使用该掩模图案的光刻投影装置.pdf
光刻对准标记结构及形成方法、半导体结构的形成方法.pdf
光刻胶去除剂组合物以及用该组合物形成布线结构和制造薄膜晶体管基片的方法.pdf
一种光刻装置的对准系统以及该对准系统的级结合系统.pdf
光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法.pdf
光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法.pdf
光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法.pdf
对半导体器件中的部件进行构图的方法及光刻结构.pdf
光刻投射装置及使用这种光刻投射装置的器件制造方法.pdf
光刻装置,器件制造方法以及该方法制造的器件.pdf
光刻设备,设备清洁方法,装置制造方法和由该方法制造的装置.pdf
最新方案
食品/农产品
环保
制药/生物制药
其他
更多解决方案>>
兽药中含量测试检测方案(液相色谱仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
API 和凝胶胶囊中重金属检测方案(微波消解仪)
应用领域:
相关评论
您的评论:
推荐
发表评论
还可以输入
500
字
品牌合作伙伴
上传资料
一键询价
下载该资料的还下载
一种用于光刻装置的套刻补偿系统及方法.pdf
下载 1 次
|
50 积分
|
740 kb
发明专利申请公开说明书CN201010291462.5二苯庚烷类化合物及其医药用途
下载 1 次
|
10 积分
|
845 kb
一种辛癸酸甘油酯主要化学成分的高效液相色谱分离制备方法.pdf
下载 0 次
|
150 积分
|
916 kb
具有平面电机驱动支架的光刻设备.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
1497 kb
光刻系统光源对称性的检测方法.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
1293 kb
更多
>>
推荐会议
更多
>>
推荐课程
气相色谱-质谱联用技术
¥5980
个人版:质谱不神秘
¥5980
【自营】有机质谱谱图解析技巧
¥1999
热重分析技术与应用体系课
¥169
上传者上传的其他资料
GB/T 24067-20xx温室气体 产品碳足迹 量化要求和指南 (征求意见稿).pdf
《XRD仪器使用实操手册大全》-八大品牌尽收其中-仪器信息网整编(带书签)
《XRF仪实操手册》-汇集8大品牌仪器.pdf
《食用油检测方法实用手册》-1215页-解决食用油检测难题-仪器信息网整编.pdf
道路车辆 重型商用列车气压制动系统制动开始压力 转鼓试验台测量方法.pdf
电梯用钢丝绳.pdf
下载排行
本周
本月
全部
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
7
原子吸收中的干扰及其抑制
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
原子吸收中的干扰及其抑制
7
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
1
Q2XXX系列DSC产品介绍
2
研究论文集(理论篇)--论文六:用
3
微波催化有机化学反应机理研究
4
研究论文集(理论篇)--论文七:论
5
LC2000性能测试报告
6
Q系列TMA热机械分析仪 产品介绍
7
epMotion 5075如何出色地完成96
8
环境监测分析实验室的质量管理特
9
物理化学专业工具软件做物化实验
请输入验证码
请输入图中
蓝色的字
免积分下载
确认
输入错误!
仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的,版权归原属作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途,否则,一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益,请联系我们(download@instrument.com.cn)处理,感谢您的合作!
安装App资料免费下
资料微服务您的资料助手