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光刻装置,器件制造方法以及所制的器件.pdf

简介：公开了一种光刻装置。该装置包括提供辐射光束的辐射系统,和支撑图案形成结构的支撑结构。图案形成结构构造成可根据所需的图案图案化辐射光束。该装置还包括支撑衬底的衬底支撑,和将图案化的光束投影到衬底的目标部分的投影系统。该投影系统包括具有光束入口区域的光学元件和具有光束出口区域的光学元件,图案化的光束穿过其每个区域。该装置另外包括与上面设有多个核化地点的投影系统结合的核形表面。该表面设置在远离光束入口区域和光束出口区域中的至少一个。
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