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控制系统、光刻装置、器件制造方法以及由此制造的器件.pdf

简介：用于定位装置(10)的控制系统包括PID型控制器(4),或者连接在反馈回路中的其他元件。控制器根据电流所需值I-(s)和电流测得值I-(m)之间的误差来计算供给定位装置(10)的电流。该电流通过放大器(6)转变为电压,并进一步通过利用定位装置的机械和电特性以及所需位置和/或位置的所需导数计算得到的前馈电压U-(ff)来改变。
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