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在光刻机中用于从主室气体隔离光源气体的方法和设备.pdf

简介：一种使用第三气体将第一气体隔离于第二气体的系统和方法。第一室包含基于第一气体发光的元件。第二室使用发出的光进行处理并包含第二气体。气闸将第一室连接到第二室。气体源在气闸中提供第一和第二气体之间的第三气体,使得在气闸中第一气体隔离于第二气体。可从第一室中抽取第一和第三气体并将它们彼此分开,使得可以循环第一气体,用于再使用来形成发光。
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