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光刻装置和一种补偿光刻装置中热变形的方法.pdf

简介：一种光刻装置包括：受到热载荷的元件、用于补偿光刻装置中由热载荷造成的元件变形的热变形补偿装置,该热变形补偿装置包括：至少一个用于感测元件上至少一个位置处的温度传感器、用于计算元件由热载荷造成的作为在该位置处所感测到的温度函数的形变量的处理装置,其中使用来自由计算机生成的该元件模型的数据计算形变量,使得可进行适当修正或适当修正可考虑到光刻装置中的变形。
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