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具有包括凹面镜和凸面镜的聚光器的光刻投影装置.pdf

简介：一种光刻投影装置,包括具有聚光器的EUV辐射源,该聚光器具有位于一凹表面上的第一反射器和位于一凸表面上的第二反射器,用于获得会聚的EUV辐射光束。这些表面用于安装反射镜。这意味着聚光器下游的反射镜可以省略。
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