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照射激光的方法、激光照射系统和半导体器件的制造方法.pdf

简介：在半导体器件的制造工艺中,当CW激光器的谐波照射到半导体膜上并相对扫描该谐波时,形成几个沿扫描方向延伸的长晶粒。在该扫描方向上,这样形成的半导体膜在特性上基本接近单晶体。然而,CW激光器的谐波的输出小,从而造成了低的退火效率。在本发 详细>
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