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浸润式光刻之方法与系统.pdf

简介：一种浸润式光刻系统100与方法,其中浸润之媒介112与近接端110之透镜接合,此近接端110之透镜聚焦图案化光束于光敏材料116上,且保护膜300覆盖在光敏材料116上,而此保护膜300与浸润之媒介112接合。
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