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半导体器件及其制造方法.pdf

简介：本发明的目的在于提供一种制造半导体器件的方法,以及一种使用该制造方法制造的半导体器件,其中使用激光晶化方法,它能够防止在TFT沟道形成区中形成晶界,并且能够防止所有由于晶界导致的TFT迁移率的显著下降、接通电流降低和关断电流增加。形成具有条形形状或矩形形状的凹陷和凸起。用连续波激光沿绝缘膜条形形状的凹陷和凸起、或沿矩形形状的纵轴方向或横轴方向辐照形成在绝缘膜上的半导体膜。注意虽然此时最优选使用连续波激光,但也可以使用脉冲波激光。
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