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用于微光刻法的照明系统.pdf

简介：一种用于微光刻的系统,包括：照明光源；照明光学系统；和投影光学系统,该照明光学系统包括,按从物镜侧开始的顺序,(a)从照明光源接受照明的第一衍射光学单元,(b)变焦透镜,(c)第二衍射光学单元,(d)聚光器透镜,(e)中继透镜,(f)掩模版,该投影光学系统用于把掩模版成像在基片上,其中,用于微光刻的本系统,提供可变焦的数值孔径。
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