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一种光刻装置的对准系统以及该对准系统的级结合系统.pdf

简介：本发明公开一种光刻装置的对准系统以及该对准系统的级结合系统，其对准系统包括光源模块，提供照明光源；照明模块，传输照明光源的光束，照明晶片上的对准标记；成像模块，使正、负级次的频谱光斑对应重叠相干，采用多色光分离系统实现多波长光信 详细>
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