合集
标准
方法
手册
讲义
报价单
谱图库
色谱图
质谱图
光谱图
X-射线图
波谱图
显微图
更多
专利
样本
相关软件
用户通讯
招标文件
新冠肺炎
其他
标准查询
今日免费资料
论文索引
您还有
0
次抽奖机会
锤子
您现在的位置:
首页
>
资料中心
>
专利下载
>
对光刻衬底上的正色调抗蚀剂层进行构图的方法.pdf 下载
对光刻衬底上的正色调抗蚀剂层进行构图的方法.pdf
扫码解锁,免费下载文件
请使用
最新版本仪器信息网APP
扫码登录
步骤:
打开仪器信息网APP并登录 ——》点击APP首页右上角扫一扫 ——》APP端确认解锁 ——》PC端下载文件
免费注册
简介:提供一种单曝光方法和双曝光方法,以减少掩模误差因子并提高光刻印刷步骤分辨率。本发明包括使用正色调抗蚀剂,将具有稠密线和间隙的需要图案分解为印刷在交错位置的半稠密间隙的两个子图案。每次曝光都在对两个半稠密间隙的相应掩模图案施加相对间隙宽度扩展之后执行。表示间隙宽度扩展的因子具有1到3之间的值,从而减少掩模误差因子和线边粗糙。
所需积分:
50 分
所需积分:
50 分
0分
下载次数:0 次
获取积分:页面上方
资料大小: 1200 KB
上传人:
dahua1981
上传日期:2023-04-19
收藏资料
(0)
评论
(
0
)
举报
扫码免费下载
扫码免费下载
相关阅读
ASML或将Hyper-NA EUV光刻机定价翻倍,让台积电、三星和英特尔犹豫不决
台积电2024-2025年将接收超60台EUV光刻机
热门资料
《食用油检测方法实用手册》-1215页-解决食用油检测难题-仪器信息网整编.pdf
FCE-3000 温控仪说明书
GB T 2794-2022 胶黏剂黏度的测定.pdf
高效液相色谱仪验证方法
GBT 3654.5-1983 铌铁化学分析方法 钼蓝光度法测定磷量.pdf
Setup_ZSimDemo_322以及相关资料
GBT 41317-2022 燃气用具连接用不锈钢波纹软管.pdf
《不确定度应用实用手册》-仪器信息网资料中心编撰(带书签)-4000
多参数水质检测仪说明书
GBT 41317-2022 燃气用具连接用不锈钢波纹软管.pdf
最新资料
HAF J0080-1998 核电厂在役检查指南.pdf
金属在 H2S 环境中抗硫化物应力开裂和应力腐蚀开裂的实验室测试
AS 5200.037.2-2008(2016).pdf
AS 1755-2000.pdf
TCPIA 0004-2017 光伏组件封装用乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)胶膜.pdf
“玻璃纤维”(玻璃纤维增强热固性树脂)管道和配件的静水压力或压力设计基准获取标准规范
一般工程用开模钢锻件 第2部分
航天系统 无损试验 固体火箭发动机石墨锭用自动超声波检测方式
JASO C601.pdf
黄油 测定血清的pH值 电位法
相关资料
对半导体器件中的部件进行构图的方法及光刻结构.pdf
衬底支座、用于在衬底支撑位置上加载衬底的方法、光刻设备和器件制造方法.pdf
衬底曝光方法和光刻投影设备.pdf
用准分子激光的光刻作用对光学制品表面进行仿形加工的方法.pdf
评估衬底的模型的方法、检查设备和光刻设备.pdf
正性双层压印光刻法及其所用组合物.pdf
除去光刻胶和蚀刻残渣的方法.pdf
光刻构图装置的保险机构.pdf
湿浸式光刻系统中用于清洗半导体衬底的方法和设备.pdf
液滴雾的产生方法和装置远紫外光源和衬底的光刻装置.pdf
最新方案
食品/农产品
环保
制药/生物制药
其他
更多解决方案>>
兽药中含量测试检测方案(液相色谱仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
水中全氟化合物检测方案(固相萃取仪)
应用领域:
API 和凝胶胶囊中重金属检测方案(微波消解仪)
应用领域:
相关评论
您的评论:
推荐
发表评论
还可以输入
500
字
品牌合作伙伴
上传资料
一键询价
下载该资料的还下载
白酒标样组分表
下载 16 次
|
0 积分
|
35 kb
CNAL C 2101.0021-2005 山楂—有机酸的测定—中和滴定法
下载 4 次
|
10 积分
|
479 kb
具有接合焊盘的半导体器件及其制造方法.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
973 kb
半导体集成电路器件的制造方法.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
1841 kb
半导体器件及其制造方法.pdf
下载 0 次
|
50 积分
|
1712 kb
更多
>>
推荐会议
更多
>>
推荐课程
企业版:气相色谱-质谱联用技术
¥5980
热重分析技术与应用体系课
¥169
【自营】化学计量学与近红外光谱 通关宝典
¥1999
【自营】有机质谱谱图解析技巧
¥1999
上传者上传的其他资料
《食用油检测方法实用手册》-1215页-解决食用油检测难题-仪器信息网整编.pdf
道路车辆 重型商用列车气压制动系统制动开始压力 转鼓试验台测量方法.pdf
电梯用钢丝绳.pdf
眼科光学 接触镜护理产品 镜片盒内的接触镜护理产品及接触镜受到细菌和真菌挑战的评估方法》征求意见稿.pdf
《TOC检测方法手册》-仪器信息网资料中心编撰(带书签)-3650.pdf
DB52T1788-2024高速公路服务区管理规范.pdf
下载排行
本周
本月
全部
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
7
原子吸收中的干扰及其抑制
1
农村饮用水安全工程——水质监测解
2
气相色谱仪维修手册(故障分析)【P
3
安捷伦GC7890超详细资料
4
计量认证人员职责分配
5
中华人民共和国依法管理的计量器
6
原子吸收中的干扰及其抑制
7
GB/T 2406-2009 氧指数测定方法
1
Q2XXX系列DSC产品介绍
2
研究论文集(理论篇)--论文六:用
3
微波催化有机化学反应机理研究
4
研究论文集(理论篇)--论文七:论
5
LC2000性能测试报告
6
Q系列TMA热机械分析仪 产品介绍
7
epMotion 5075如何出色地完成96
8
环境监测分析实验室的质量管理特
9
物理化学专业工具软件做物化实验
请输入验证码
请输入图中
蓝色的字
免积分下载
确认
输入错误!
仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的,版权归原属作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途,否则,一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益,请联系我们(download@instrument.com.cn)处理,感谢您的合作!
安装App资料免费下
资料微服务您的资料助手