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光刻胶液供给装置及用于得到它的改造套件.pdf

简介：提供一种既可以使光刻胶液输送成本降低，又可以避免使用按原样直接连接至现有LCD面板生产线的昂贵的小型专用容器，并由此可以在总体上减少光刻胶液的供给成本的光刻胶液供给装置。在光刻胶液供给装置中，测定调合罐内液体的浓度和粘度中的至少一种，基于该测定结果通过调节原料液和溶剂的注入量而进行稀释控制，同时将通过稀释控制而得到的产品用光刻胶液在缓冲槽中贮存一定时间而使其稳定化。
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