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半导体装置及其制造方法.pdf

简介：本发明旨在提供如下半导体装置及其制造方法：即使在层叠多个形成在衬底上的半导体元件的情况下，也可以通过衬底电连接被层叠了的半导体元件。本发明的技术方案的要点如下：在衬底的一面上选择性地形成凹部或从衬底的一面贯穿到另一面的开口部 详细>
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