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微光刻处理的辐射束特性控制方法和系统.pdf

简介：公开了用于控制引导到微光刻工件上的辐射的特性的方法和装置。根据本发明一个实施例的装置包括被定位以将辐射束向着工件引导的辐射源，其中辐射束具有幅度分布、相位分布和偏振分布。自适应结构可以位于辐射束的路径中，并且可以具有多个独立 详细>
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