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度量、光刻、加工装置、度量方法及器件制造方法.pdf

简介：一种用于测量基片上的显微结构的参数的度量装置，该装置包括设置成可产生测量光束的超连续光谱光源、设置成可将该测量光束导引到该基片上的光学系统以及用于探测被该结构反射和/或衍射的辐射的传感器。
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